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Équipements de test cryogénique et matériaux épitaxiés
3B904. Equipements de tests cryogéniques de plaquettes, présentant toutes les caractéristiques suivantes :
a. Conçus pour tester des dispositifs à des températures inférieures ou égales à 4.5 K (- 268.65 °C) ; et
b. Conçus pour accueillir des diamètres de plaquettes supérieurs ou égaux à 100 mm.
3C907. Matériaux épitaxiés constitués d'un « substrat » comportant au moins une couche épitaxiée de l'un des matériaux suivants :
a. Silicium ayant une impureté isotopique inférieure à 0.08 % d'isotopes de silicium autres que le silicium-28 ou le silicium-30 ; ou
b. Germanium ayant une impureté isotopique inférieure à 0.08 % d'isotopes de germanium autres que le germanium-70, germanium-72, germanium-74, ou germanium-76.
3C908. Fluorures, hydrures ou chlorures, de silicium ou de germanium, contenant l'un des éléments suivants :
a. Silicium ayant une impureté isotopique inférieure à 0.08 % d'isotopes de silicium autres que le silicium-28 ou le silicium-30 ; ou
b. Germanium ayant une impureté isotopique inférieure à 0.08 % d'isotopes de germanium autres que le germanium-70, germanium-72, germanium-74, ou germanium-76.
3C909. Silicium, oxydes de silicium, germanium ou oxydes de germanium, contenant l'un des éléments suivants :
a. Silicium ayant une impureté isotopique inférieure à 0.08 % d'isotopes de silicium autres que le silicium-28 ou le silicium-30 ; ou
b. Germanium ayant une impureté isotopique inférieure à 0.08 % d'isotopes de germanium autres que le germanium-70, germanium-72, germanium-74, ou germanium-76.
Note. - L'alinéa 3C909 inclut les « substrats », grumeaux, lingots, boules et préformes.
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